上海集成電路研發(fā)中心有限公司(ICRD)成立于2002年,是產(chǎn)學(xué)研合作的國(guó)家級(jí)集成電路研發(fā)中心。ICRD由中國(guó)集成電路相關(guān)企業(yè)集團(tuán)和高校聯(lián)合投資組建而成,是一個(gè)獨(dú)立的面向全行業(yè)集成電路企業(yè)、大學(xué)及研究單位開(kāi)放的公共研發(fā)機(jī)構(gòu)。致力于解決重大共性技術(shù)的研發(fā)及服務(wù)支撐問(wèn)題,并為集成電路產(chǎn)業(yè)鏈的發(fā)展提供公共的裝備和材料評(píng)價(jià)驗(yàn)證平臺(tái),為企業(yè)及高校提供培養(yǎng)集成電路專業(yè)技術(shù)人才和高技能人才的實(shí)訓(xùn)基地。
上海集成電路研發(fā)中心位于上海市張江高科技園區(qū),地理位置毗鄰華力微電子和中芯國(guó)際。ICRD建有12英寸開(kāi)放式集成電路工藝研發(fā)和裝備材料試驗(yàn)平臺(tái),包括光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、薄膜等工藝設(shè)備,凈化間面積超過(guò)3000平方米。
上海集成電路研發(fā)中心也積極探索國(guó)際化道路,不斷提升國(guó)際影響力,與多家國(guó)際知名集成電路企業(yè)和研發(fā)機(jī)構(gòu)建立技術(shù)合作及聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室。